真空和低温是两个关系十分紧密的学科，二者的发展相互依存、相互促进的。低温技术依靠真空的一个明显的例子是真空绝热。
在低温容器或低温设备中，为了减少冷量的泄漏，须采用高真空绝热，尤其对于液氨、液氢等。
在真空技术中，低温是获得高真空和超高真空的一种最有效的抽气手段。可以利用气体在低温表面的凝集实现低温冷凝抽气。利用气体在低温多空材料中的物料吸附实现低温吸附抽气，特点很多很好。但是在这样的技术中，还大量使用带有油介质的泵，如扩散泵，旋片泵，滑阀泵等，为了避免或阻止油蒸汽进入真空工作空间，一般在泵与容器间设置低温捕油器或捕油挡板。但不如直接选用无油的真空泵方便和可靠，比如：可以选用珂勒曦品牌的螺杆真空泵。
防腐蚀真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。