PFA气体冲击瓶因其高纯度、耐腐蚀和耐高温特性,广泛应用于半导体行业的气体采样和分析。
PFA气体冲击瓶的特点
化学惰性:PFA材料对强酸、强碱和有机溶剂具有极强抵抗力,适合高纯度气体采样。
低吸附性:可减少气体分子在瓶壁的吸附,确保采样数据准确性。
耐温范围广:通常可承受-200°C至260°C的温度,适用于极端环境。
透明性:便于观察瓶内气体状态或液体样品。
半导体行业的具体用途
工艺气体监测:用于采集蚀刻、沉积等工艺中的特种气体(如NF₃、SF₆)。
洁净室空气分析:检测超净环境中的微量污染物(如VOCs、颗粒物)。
尾气处理验证:评估废气处理系统的效率,确保符合环保标准。
选型与使用注意事项
容量选择:常见规格为250mL至1L,需根据采样流量和时长确定。
密封性测试:使用前需进行氦检漏等测试,避免气体泄漏。
清洁方法:建议用高纯氮气吹扫或酸洗(如10%硝酸浸泡),避免交叉污染。
