真空吸附卡盘
• 不锈钢卡盘台尺寸4"，平整度5μm，带3个真空吸附孔
• 不锈钢卡盘台尺寸6"、8"、12"，平整度5μm，带4个真空吸附孔
• 静音无油气泵，7 升 / 分钟，可连续工作
恒温真空吸附卡盘
• 铝合金盘台尺寸4"、6"、8"，平整度5μm。
• 带3-4个真空吸附孔
• 静音无油气泵，7 升 / 分钟，可连续工作
• 可通水或气体循环冷却
• 含加热功能，加热温度300摄氏度，控温精度±1度，显示精度0.1度，
有效区域内温度均衡性±5度。
• 可选配制冷功能，温度-130摄氏度（真空环境下）。
• 具备快速冷功能，配置水冷却接口，可连接冷水机实现快速降温的功能。