山武CMS是一种气体质量流量计，使用了山武公司研发的微流量传感器μF单元。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比。微流量传感器芯片与先进的流体管路设计的结合，使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。
azbil山武常用流量计型号表：MQV0005BSRN01010C MQV0020BSRN01010C MQV0050BSRN01010C MQV0200JSRN01010C
MQV0020BSRS01010C MQV0050BSRS01010C MQV0200JSRS01010C MQV0050CSSN01010C
CMS0020BSRN21010C CMS0050BSRN21010C CMS0200BSRN21010C MPC0020BBRN01000C
MCS100A104 MCS100A112 MPC0020BBRN02000C MPC0020BBRSW2000C MPC0020BBRSW1000C