真空系统按真空区域可分为：中、低真空系统，高真空系统，超高、极高真空系统。它们由不同的主泵、辅助系及其它相应的真空零(部)件组成。中、低真空系统由机械泵或机械泵加罗茨泵组成，为防止油污染，还可加入分子筛阱，但在操作时要防止分子筛固体颗粒吸入机械泵中。高真空系统主要由扩散泵、障板、冷阱、插板阀和机械泵等组成，主泵也可用涡轮分子泵或低温泵。为进一步减少油污染，可用溅射离子泵与钛升华泵和低温障板一起构成一台无油高真空抽气机组，其前级用吸附泵粗抽。超高和极高真空系统最重要的标志是清洁度高，只要采用高性能的离子泵、低温泵、涡轮分子泵和冷阱等，就可实现超高和极高真空。 获取真空，靠真空系统的抽气来完成。根据所要求的真空度和清洁度，采用不同的真空系统。
各种真空系统的启动、停机、操作过程及产生故障时对污染的防护都有严格要求，必须遵守操作规程。比如，机械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的压力，否则反流污染严重;扩散泵在正常工作前和停泵20min内油蒸气污染很大，故不得与真空室或冷阱相通;停机时冷阱要在与真空室隔离、排除液氮并回温后方可停止高真空泵;吸附泵应有防压力爆破装置，以防回温后产生事故;要防止分子筛吸附阱中的分子筛及其固体粉末吸入机械泵。
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