高纯氢主要用于大规模集成电路的制造，提供还原气氛，作为配制SiH4/H2、PH3/H2、B2 H6/H2等混合气的底气。在电真空材料和器件生产过程中，对氢气纯度要求也很高。电子管的阳极、阴极和栅极等金属器件，都需经过专门的烧氢处理。另外，在硅和砷化镓的外延工艺中用作保护气和运载气。
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