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氮化铝陶瓷基板应用于半导体器件

  • 发布时间:2023-07-20 15:58:48
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    在2025中国制造的大背景下,我国半导体行业也迎来了强势的增长,在混合微电子领域中,广泛使用电气绝缘、机械强度都比较优良的氧化铝陶瓷基板作为安装半导体器件、制作无源元件用的基板。

    但是,随着电子设备仪器的小型轻量化,以及混合集成度大幅提高,使得基板上单位面积所需的散热量不断增大,特别是在大功率电路中更为显著。氧化铝陶瓷由于导热性相对较差,室温下导热率约为15-35W/(m·K),所以已经不足以适应超大功率的散热需求。这种情况下人们采用所谓复合结构基板,在高散热密度部分采用氧化铍陶瓷板或钼基板,其他部分仍然用的是氧化铝陶瓷基板,以适应高散热密度的要求。但是,复合结构基板在价格、电性能、热性能方面还不十分令人满意,于是迫切要求研制出适合于高集成度、高散热性混合集成电路用陶瓷基板。于是氮化铝陶瓷基板就应运而生了。氮化铝陶瓷基板是解决高散热密度问题的一种新型的,最适合于半导体芯片安装的陶瓷基板。

    氮化铝是一种非天然存在的人造晶体,具有六方晶系纤锌矿晶体结构,为共价键很强的化合物,质轻,强度高,高耐热性,耐腐蚀,曾被用作熔化铝的坩埚。

    虽然铝是一种半导体,但是其禁带宽,在抗电强度、体电阻率、介电系数诸组诸电性能方面,完全可以将其划分为绝缘体。所以已经有人利用其压电性能研制压电陶瓷。

    实际上,氮化铝单晶的导热率约250W/(m·K),从理论上来讲,室温下氮化铝单晶的导热率可以达到320W/(m·K),所以氮化铝材料很适合用制造高散热基板,氮化铝陶瓷的化学稳定性:对水、有机溶剂、碱很稳定,对酸有弱腐蚀现象。在两个大气压、121℃、蒸汽气氛下压缩封闭处理,随着时间的增长,可观测到基板重量的增加。这是由于在基板表面生成了AIO(OH),并且它会作为保护层阻止反应的继续进行,试验后基板绝缘电阻仍然高达3×1011Ω,保持了良好的绝缘性能。氮化铝陶瓷不仅可以和氧化铝陶瓷一样在生坯上加工通孔,而且还可以在烧成后进行激光打孔。

    结论:

    高导热性氮化铝基板,在一些领域里可以替代氧化铝陶瓷基板。高可靠性金属化技术、多层布线技术、降低成本,是今后要解决的课题,随着这些课题的解决,氮化铝陶瓷将不断的扩大其应用领域。

    氮化铝陶瓷基板应用于半导体器件

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