，可以在10-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，高低温真空机器人的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率低的材料。此系列产品主要运用于真空室，高温室，高洁净度环境。
真空位移平台
一体化设计，可靠易用
标准化设计制造60、90、120三种规格，可定制其它规格
工作环境温度-196℃至+200℃
适用真空度10-7Pa
什么是步进电机？
步进电机是将电脉冲信号转变为角位移或线位移的开环控制元步进电机件，在非超载的情况下，电机的转速、停止的位置只取决于脉冲信号的频率和脉冲个数，而不受负载变化的影响，当步进驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度，称为“步距角”，它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的，同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度，从而达到高速的目的。
耐高低温步进电机：
HS系列高低温步进电机耐低温-196℃，高温+200℃，定制真空度10-1Pa到10-7Pa（可选)。
主要是转子、定子、及绕线方式进行了创新设计和开发，研发生产所需粘合剂，使的高低温步进电机在极端环境中长时间稳定工作。
高低温步进电机产品特点：
1.温度等级多,-196℃~+200℃
2.保持扭矩从0.3-4.5N.m
3.法兰42mm、57mm、86mm
4.双定位结构，精度高，可靠性好
5.特殊磁钢，耐高温，且具有强耐候性
东莞市臻上机电设备有限公司耐高低温真空伺服电机：
标准化设计生产100~750W产品，可定制其他规格
工作环境温度-60℃至+200℃，线圈温度可达300℃
实用真空度10-5Pa
可提供低压直流和高压交流选择
可选配内置温度传感器