邦诺单晶制氮机
氮气作为保护气体在退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，硅片表面和氧气发生反应，使硅片表面形成二氧化硅保护层。
工作原理
制氮机工作原理，制氮机是根据变压吸附原理，采用高品质的碳分子筛作为吸附剂，在一定的压力下，从空气中制取氮气。经过纯化干燥的压缩空气，在吸附器中进行加压吸附、减压脱附。由于空气动力学效应，氧在碳分子筛微孔中扩散速率远大于氮，氧被碳分子筛优先吸附，氮在气相中被富集起来，形成成品氮气。然后经减压至常压，吸附剂脱附所吸附的氧气等杂质，实现再生。一般在系统中设置两个吸附塔，一塔吸附产氮，另一塔脱附再生，通过PLC程序控制器控制气动阀的启闭，使两塔交替循环，以实现连续生产高品质氮气之目的。
整套系统由以下部件组成：压缩空气净化组件、空气储罐、氧氮分离装置、氮气缓冲罐。
制氮机技术指标：
流量：3-300Nm3/h 纯度：95%-99.9995%
露点：≤-65℃ 压力：≤0.6Mpa可调
制氮机技术特点
1、完善的流利设计，最优使用效果；
2、合理的内部构件，气流分布均匀，减轻气流高速冲击；
3、特有的分子筛保护措施，延长碳分子筛的使用寿命；
4、操作简便，运行稳定，自动化程度高，可实无人运行；
5、自动联锁氮气排空装置，保证产品氮气质量；
6、可选配氮气装置流量，纯度自动调节系统，远程监控系统等；