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化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于氢氧化钾。不与氢氧化钠、液氨及盐酸发生化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与金属钠反应，-64℃时在液氨中反应。与硫化氢混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。
因为六氟化硫的密度差不多为空气的五倍，所以吸入六氟化硫的人在说话时，发出的机械波的波长会变长，说话听起来更像男性，而氦气正好相反，吸入后波长变短，说话听起来更像女性。
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