Keithley 6517A 5 1/2 位静电计/高电阻表提供极高的精度和灵敏度规格。它还提供了多种功能，可简化高电阻和绝缘材料电阻率的测量。Keithley 6517A 的读取速率高达每秒 125 个读数，其速度也明显快于同类静电计，因此它提供了一种快速、简单的方法来测量低电平电流。
测量高达 1018Ω 的电阻
10aA（10×10-18A）电流测量分辨率
小于 3fA 输入偏置电流
6 1/2 位高精度测量模式
电流范围内的负载电压小于 20μV
输入阻抗 >200TO 时电压测量高达 200V
内置+/-1000V电压源
用于高电阻测量的独特的交流极性电压源和测量方法
用于四种不同器件特性测试、表面电阻率和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描的内置测试序列
可选插入式扫描仪卡，可通过一种测试设置测试多达 10 个设备或材料样