产品名称 |
离子溅射仪 |
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产品品牌 |
英鹏 |
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安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用. |
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1、水:不需要 |
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2、电:AC220V50Hz,必须有良好接地 |
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3、气:设备腔室内需充注气气(纯度99.99%以上),需自备氛气气瓶(带压减阀) |
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4.工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 |
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5、通风装置:不需要 |
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主要参数 |
1、输入功率:110V/220V通用2000W(含真空泵) |
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2、输出功率:1600VDC50mA(电流) |
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3、石英置:0160mm×120mm |
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4、样品台:050mm(可选购加热型样品台,温度可到500℃:溅射时间不可超过5min) |
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5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 |
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7、靶材:尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni |
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产品规格 |
尺寸:360mm×350mm×3600mm; |
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重量:50kg |
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可选配件 |
1、KF25真空接口、卡箍 |
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2、不锈钢波纹管(600mm) |
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3、旋片式真空泵(120L/M) |
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4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 |
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5、加热型样品台 |
产品说明:
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。放入样品后可一键搞定;数字式计数器满足精准定时要求。特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材,配有高位定性的飞跃真空泵。
特点:
1.同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、银等),以达到更细颗粒的涂层。
2.一键式操作,使用方便。
3.真空保护可避免真空过低造成设备短路。
需要镀膜的样品:
1.电子束敏感的样品:
主要包括生物样品,塑料样品等。EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;
2.非导电的样品:
由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。
3.新材料:非导电材料和半导体材料
·创新的低压直流冷态溅射镀膜,避免样品微纳结构热损伤。
·创新的回路控制保证了溅射电流始终固定不变及不受压力变化影响,保证均匀一致的膜厚和很优的镀膜效果。
·溅射电流可预设也可在镀膜过程中实时调节。
·操作容易快捷,自动或手动操作,靶材快速更换。