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YP-400CIS EX小型离子溅射仪喷金仪

  • 发布时间:2023-03-22 16:44:37
    报价:面议
    国家地区:广东 - 广州
    地址:广州市黄埔区开创大道1936号2418房
    公司:广州利勃机电股份有限公司
    手机:18520549806
    用户等级: 普通手机验证 会员认证

    参数YP-400CIS/EX

     

    外形尺寸

    424*265*260MM

    输入电压

    220V/50Hz

    溅射电压

    600V

    工作原理

    磁控溅射

    功率

    4507

    靶材尺寸

    057*0.12MM (AU)

    可选靶材

    金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材

    真空泵

    直连式两级旋片式真空泵1心/S

    真空室

    0128*130MM高强度玻璃

    极限真空

    1PA(电阻式真空规)

    抽气节拍

    ≤90S

    样品杯

    00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个

    样品室进气

    自动:高精度微量进气阀

    进气接头

    O4快拧接头(外径4M,内径2.5MM气管)

    江作电流

    5-45MA任意可调

    颗粒大小

    6-10NM

    保护功能

    过流保护、真空保护

    产品说明:

    本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。放入样品后可一键搞定;数字式计数器满足精准定时要求。特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材,配有高位定性的飞跃真空泵。

    特点:

    1.同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、银等),以达到更细颗粒的涂层。

    2.一键式操作,使用方便。

    3.真空保护可避免真空过低造成设备短路。

    需要镀膜的样品:

    1.电子束敏感的样品:

    主要包括生物样品,塑料样品等。EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

    2.非导电的样品:

    由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。

    3.新材料:非导电材料和半导体材料

    ·创新的低压直流冷态溅射镀膜,避免样品微纳结构热损伤。

    ·创新的回路控制保证了溅射电流始终固定不变及不受压力变化影响,保证均匀一致的膜厚和很优的镀膜效果。

    ·溅射电流可预设也可在镀膜过程中实时调节。

    ·操作容易快捷,自动或手动操作,靶材快速更换。

    YP-400CIS EX小型离子溅射仪喷金仪

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