中图仪器激光光学共聚焦扫描显微镜VT6000是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。
共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。
产品功能
1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；
3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量即可快速实现批量测量功能；
4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；
应用领域
VT6000激光光学共聚焦扫描显微镜可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
技术指标
型号：VT6100
行程范围：100*100*100mm
视场范围：120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量重复性(1σ)：12nm
高度测量精度：± (0.2+L/100) μm
高度测量分辨率：0.5nm
宽度测量重复性(1σ)：40nm
宽度测量精度：± 2%
宽度测量分辨率：1nm
外形尺寸：520×380×600mm
仪器重量：50kg