SJ6000双频激光干涉仪测量具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
性能特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
SJ6000双频激光干涉仪测量使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
SJ6000双频激光干涉仪测量除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。