面分析：将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。
进行观察和分析时，通常采用磨平或抛光等处理手段使样品表面保持光滑平整，以此得到类纳米级别的微观相分布，便于分析领域的人员对微观区域的准确定位与分析。
1. 样品具有良好的导电性，不导电需进行喷金或喷碳；如果样品由于您要求不喷金（喷碳）而导致效果不好，不安排复测。
2. 样品状态：粉末、薄膜、块体均可（样品性质稳定无毒，电子束轰击时不能挥发、易燃易爆等；有机高分子材料与强磁粉末不可上机）。
3. 粉末样品：
（1）表征粉末表面：至少提供20mg样品。
（2）表征粉末内部：需要与项目经理沟通确认。
4. 块体样品： 样品尺寸不超过20*20*10mm；直径≤20mm，高度≤10mm；样品上下表面平行，待测面需打磨并机械抛光，保证样品表面的平整度，制样使表征面平整光滑，在200倍光镜下没有明显的划痕，且至少有一对平行面；合金或复合材料等偏析明显的材料不需要腐蚀，部分材料如果没有明显偏析，可轻微腐蚀出晶界后进行测试；若存在下列情况，请联系工作人员：待测样品区域在样品边缘；样品尺寸过大。
5，请务必仔细检查您的样品，若发现以弱磁强磁充当非磁或者以强磁充当弱磁非磁，我们将可能无法安排您的实验，不承担以此造成的时间和样品损失；而且因隐瞒样品信息导致仪器损坏，需要您承担全部赔偿责任！！！
6. 测试费用按具体测试时长收取。
1、EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析？
答：EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪（WDS），即属谱分析。
2、SEM和EPMA的主要区别是？
答：SEM侧重于形貌成像，EPMA更倾向于微区成分分析。