低温等离子净化器又称低温等离子废气净化器。 本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，提高等离子体区激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
低温等离子应用范围
该技术能够应用于污水处理厂,石油化工,制药,污水处理,涂料,皮革加工,感光材料,汽车制造,食品加工厂,印染厂,垃圾处理厂,公厕,屠宰场,牲畜饲养场,鱼类加工厂,饲料加工厂等诸多能够产生恶臭异味的场所。
基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的去除率达80-98，处理后的气体臭气浓度达到国家标准。