AE脉冲直流电源维修PINNACLE PLUS10K20K北京
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Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质一流
成弧造成的基材损坏减少
成本更低
系统整合容易
极佳的工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
无与伦比的系统灵活性特点:
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350kHz
占空比大
电压范围宽——单输出宽阻抗范围
大功率运行
基材温度低
单输出（5kW 和 10kW 型号）
用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）
绝佳的弧控制
反应性溅射闭环控制规格：
输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）
输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；电线尺寸：＃6 AWG
输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC
频率：5到350KHz，可变
反向电压：工作电压的0.1
点火功能：1500VDC，正常1350VDC
调节模式：功率、电压或电流
交流线电压：200/208、400或480VAC
电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ
400VAC：标称值8.5A/Φ
480VAC：标称值7.5A/Φ
5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/Φ
400VAC：标称值17A/Φ
480VAC：标称值15A/Φ
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