1、臭氧氧化塔
在聚酯化纤生产所产生的废水废气经过臭氧氧化塔时，一般一小时可产生1kg左右的臭氧量，一般氧化塔的大小为φ0.9m*2.9m，氧化塔的内壁是由碳钢、以及防锈面漆组成，同时在氧化塔中还有臭氧反应的催化剂，催化剂是一种活性炭，氧化塔中的废水流量大约每小时会流3-4立方米。
2、喷淋塔
一般喷淋塔的规格大小是φ0.8m*2.2m，其中内壁是大约3毫米厚度的耐酸碱性腐蚀的玻璃钢材质，而喷淋塔的外侧则是由二度的防锈漆和面漆喷刷而成，主要由主塔体，塔板还有填料部分组成，在聚酯化纤纺织生产的废水废气处理时，喷淋塔中的风机吹风流量为每小时500立方米，风机功率为750W，喷淋压降为10Pa/100m。
3、活性炭吸附塔
而活性炭吸附塔主要规格大小为φ1.8m*2.8m，内外壁材质状况同喷淋塔相类似，将经过的废水废气用活性炭来吸附净化，最终将吸附完成的废气排放到空气中。