半导体行业酸碱废气一般采用相应的碱液吸收和酸液吸收进行处理， 工艺方法已非常成熟，只要适当优化相关工艺参数，能够满足本标准的要求，需要关注的有 机废气的处理。
电子厂、半导体厂酸碱废气处理运行费用较低，设备处理风量大，占地面积小，不产生二次污染，可持续脱附并处理污染物。根据企业实际运 行情况，有机废气进气浓度在200mg/m3以上时，处理效率达到95%；200mg/m3以下时处理 后浓度控制在20mg/m3，可保证废气达标排放。
生物法是通过微生物及生物过滤技术来处理和降解异味废气，将废气中的无机物、挥发性有机物等污染物进行生物降解，终转化为无毒、无害的CO2和H2O等，达到净化的目的。使用微生物除臭，在日常使用过程中，除产生一些空气阻力外，不消耗其余任何动力，非常节能。