虽然UV光氧催化废气处理设备的好处很多，但是缺点是只能处理净化低浓度的有机废气，如果废气的浓度过高，将不能被彻底氧化分解，因此只能使用在低浓度的有机废气环境当中。该套设备的优势主要是价格比较实惠，可以处理几乎所有的有机废气，对于食品厂、医药厂的废气治理效果明显，也是国家重点介绍的有机废气处理设备之一。
对比RCO催化燃烧设备，UV光氧废气处理设备造价只有催化燃烧总价的很少一部分，而且后期不需要大量的人工维护，不容易损坏，对于低浓度有机废气可以完全讲解，所产生的主要是二氧化碳、水还有少量臭氧，因此，也不会对周围环境造成二次污染。